It will be shipped from our warehouse between Monday, July 08 and Tuesday, July 09.
You will receive it anywhere in United States between 1 and 3 business days after shipment.
Электрические и механич& (in Russian)
Сингх, 
Synopsis "Электрические и механич& (in Russian)"
Тонкие пленки мезопористого диоксида кремния (MPS) привлекательны для применения в качестве межслойного диэлектрика (ILD) с низким уровнемκ в интегральных схемах. Однако эти пленки восприимчивы к нестабильному электрическому поведению из-за поглощения воды и диффузии меди. В данной работе обсуждаются электрическая, химическая и термическая нестабильность, диффузия меди и адгезия этих материалов для оценки и возможности их использования в качестве будущих межслойных диэлектриков в проводке устройств. Термическая стабильность функциональных групп и адгезия этих пленок с меди также являются ключевыми вопросами для интеграции этих диэлектриков в реальные устройства. Мы постараемся ответить на эти вопросы для нескольких типов функциональных MPS пленок. Структура пор является еще одним ключевым параметром при определении механических и электрических характеристик MPS пленок. В этой работе мы использовали MPS пленки с порами 3D-Cubic для большинства исследований. Различия в свойствах MPS плено&#
