It will be shipped from our warehouse between Friday, July 05 and Monday, July 08.
You will receive it anywhere in United States between 1 and 3 business days after shipment.
Рост и характеристика то (in Russian)
Туна, Э
Synopsis "Рост и характеристика то (in Russian)"
В этом исследовании тонкие пленки из оксида индия-олова (ITO) выращивались как с помощью методов распыления магнетронов DC и RF. Чтобы узнать скорость осаждения ITO, система была откалибрована для DCMS и RFMS, а затем ITO были выращены на стеклянной подложке толщиной 70 нм и 40 нм путем изменения температуры подложки. Влияние температуры подложки, толщины пленки и метода напыления на структурные, электрические и оптические свойства были исследованы. Результаты показали, что температура подложки и толщина пленки существенно влияют на свойства пленки, особенно на кристаллизацию и удельное сопротивление. Тонкие пленки, выращенные при температуре ниже 150 оС, имеют аморфную структуру. Однако кристаллизация была обнаружена при дальнейшем повышении температуры подложки. Разрыв полосы ITO при температуре подложки 150 оС рассчитывался примерно в 3,64eV, а его ширина увеличивалась с ростом температуры подложки. Из электрических измерений получено удельное сопротивление при комнатной температуре 1.28×10-4 и 1.29×10-4 D-см, для пленок с напm
